宝亀2年(771年)、祇園寺の末寺として京都の権大僧都心休了愚法印が開創しました。延長6年(928年)仏刹を建立、地蔵菩薩を安置し、願成寺としました。 後に武田家始祖武田信義公が諸堂を整備し興隆しました。その際、京都七条仏師による阿弥陀三尊像を迎えて御本尊としました。 中世末戦国時代十四世の住持、俊虎大和尚(信玄の甥)が臨済宗に改宗、寛永15年(1638年)然室応廓大和尚を迎え曹洞宗に改宗しました。